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Tombo ™ No. 2675-Fe, 2685-Fe

토토 배트맨® O-Ring-Fe

토토 배트맨 O-Ring-FC (BFC) 및 토토 배트맨 O-Ring-Fe (BFE)는 플라즈마 저항성 및 저렴한 가격으로 특징 지어지는 특수 플루오로로 루버 (특수 FKM)입니다. 우리의 혼합 기술은 혈장으로 인한 고무의 무게와 균열을 줄이고 Perfluoro 고무 (FFKM)에 비해 상당히 낮은 비용을 달성합니다.

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기능

이 물질은 혈장 노출로 인해 체중 감량 또는 균열을 일으킬 가능성이 적습니다.
우수한 스틱 특성이 우수하기 때문에 움직일 수있는 부품에도 사용할 수 있습니다.
저 함유 금속, 입자 문제 감소.

use

반도체 및 액정 제조 장치 중 혈장 환경에 노출 된 씰 섹션
FKM 문제는 수명 및 입자에 문제가 있습니다
FFKM의 비용과 성능이 너무 높은 장소


대상 장치
토토 배트맨 O-Ring-Fe : 플라즈마 에칭 장치

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평가 조건
장비 : 표면파 플라즈마 에칭 장치
샘플 모양 : AS568B-214
가스 유형 : O2 (2000SCCM) + CF4 (40SCCM)
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혈장 저항성 (균열 저항)



평가 조건
장비 : 표면파 플라즈마 에칭 장치
샘플 모양 : AS568B-214
가스 유형 : O2 (2000SCCM) + CF4 (40SCCM)
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외관 관찰 : 최대 20 분, 그리고 최대 10 분 간격으로 120 분 간격으로 5 분 간격으로

기타

  • "Tombo"는 Nichias Co., Ltd의 등록 상표입니다.
  • ®의 이름은 Nichias Co., Ltd의 등록 상표입니다.
  • ™의 이름은 Nichias Co., Ltd의 상표입니다.
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SDS (제품 안전 데이터 시트)
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